隨著使用要求和工藝條件的發(fā)展，我們要求產(chǎn)品的尺寸越做越小，集成度越來越高。觀察和測量的范圍也從毫米級(jí)變成微米級(jí)，現(xiàn)在更是演變到納米級(jí)。傳統(tǒng)的探針接觸式表面粗糙度儀漸漸滿足不了最新的測量需求。

今天為您帶來的全新的3D立體形貌測量儀，該技術(shù)顛覆傳統(tǒng)， 將共聚焦、干涉和多焦面疊加技術(shù)融合于一身，帶您感受高清晰的納米世界。

彩色共聚焦觀察方式使用戶能在視場內(nèi)觀察到納米級(jí)的細(xì)節(jié)。掃描時(shí)用紅、綠、藍(lán)三色LED交替照明，獲得三張單色的圖像，最后還原成高分瀕率彩色圖像和高質(zhì)量的彩色表面紋理圖。

共聚焦技術(shù)可以用來測量各類樣品表面的形貌。 它比光學(xué)顯微鏡有更高的橫向分辨率,可達(dá)0.09 μm。利用它可實(shí)現(xiàn)臨界尺寸的測量。專利的共聚焦算法保證Z軸測量重復(fù)性在納米范疇。

白光干涉是一種納米級(jí)測量精度的用于測量各種表面高度形貌的技術(shù)。它的優(yōu)勢在于任何放大倍數(shù)都可以保證納米級(jí)的縱向分辨率

多焦面疊加技術(shù)是用來測量非常粗糙的表面形貌。此功能來補(bǔ)足低倍共聚焦測量的需要。該技術(shù)的最大亮點(diǎn)是快速 (mm/s)、掃描范圍大和支援斜率大（最大86°）。此功能對工件和模具測量特別有用。

太陽能

鏡頭

測量視頻

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